单位名称: |
北方华创科技集团股份有限公司 |
证书编号: |
京制01050065号02 |
发证日期: |
2017-09-30 |
有效期至: |
2018-08-06 |
器具名称: |
气体质量流量计 |
生产地址: |
北京市朝阳区酒仙桥东路上号M4楼4层 |
器具名称
|
器具型号
|
规格(测量范围)
|
准确度(最大允许误差)
|
气体质量流量计
|
CS320
|
(1~500)mL/min(SCCM);(1~30)L/min(SLM)
|
2L/min(SLM):2.0%F.S; >2L/min(SLM):1.0%F.S
|
质量流量控制器
|
D07-9E/ZM
|
(0-250)slm
|
2.0%F.S
|
气体质量流量计
|
D07-11C
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(0~1,2,3,5,10,20,30)L/min
|
2L/min: ±2%F.S;>2L/min: ±1%F.S;20,30L/min: ±2%F.S
|
气体质量流量计
|
D07-19B
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(0~1,2,3,5,10,20,30)L/min
|
2L/min: ±2%F.S;>2L/min: ±1%F.S;20,30L/min: ±2%F.S
|
气体质量流量计
|
CS310
|
(1~500)mL/min(SCCM);(1~30)L/min(SLM)
|
2L/min(SLM):2.0%F.S; >2L/min(SLM):1.0%F.S
|
质量流量控制器(质量流量计)
|
D07-7
|
(5,50,100,500)mL/min
|
<1L/min: ±2%F.S
|
质量流量控制器(质量流量计)
|
D07-19
|
(5,100,500)mL/min
|
<1L/min: ±2%F.S
|
质量流量控制器(质量流量计)
|
D07-26
|
(20,50,100,500)mL/min
|
<1L/min: ±2%F.S
|
|
|
|