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制造、修理计量器具许可证签发许可公示
单位名称: 北方华创科技集团股份有限公司
证书编号: 京制01050065号02
发证日期: 2017-09-30
有效期至: 2018-08-06
器具名称: 气体质量流量计
生产地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路上号M4楼4层

器具名称

器具型号

规格(测量范围)

准确度(最大允许误差)

气体质量流量计

CS320

(1~500)mL/min(SCCM);(1~30)L/min(SLM)

2L/min(SLM):2.0%F.S; >2L/min(SLM):1.0%F.S

质量流量控制器

D07-9E/ZM

(0-250)slm

2.0%F.S

气体质量流量计

D07-11C

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(0~1,2,3,5,10,20,30)L/min

2L/min: ±2%F.S;>2L/min: ±1%F.S;20,30L/min: ±2%F.S

气体质量流量计

D07-19B

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(0~1,2,3,5,10,20,30)L/min

2L/min: ±2%F.S;>2L/min: ±1%F.S;20,30L/min: ±2%F.S

气体质量流量计

CS310

(1~500)mL/min(SCCM);(1~30)L/min(SLM)

2L/min(SLM):2.0%F.S; >2L/min(SLM):1.0%F.S

质量流量控制器(质量流量计)

D07-7

(5,50,100,500)mL/min

<1L/min: ±2%F.S

质量流量控制器(质量流量计)

D07-19

(5,100,500)mL/min

<1L/min: ±2%F.S

质量流量控制器(质量流量计)

D07-26

(20,50,100,500)mL/min

<1L/min: ±2%F.S


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